日本富士FUJI單成分濃度計(jì)（機(jī)）的產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

維護(hù)性和高精度內(nèi)線測(cè)量等的FUD-1 Model-13的好處就那樣，成為作為半導(dǎo)體制造工藝用小型單元型發(fā)信器作為特長(zhǎng)的模型。

FUD-1　Model-53／FUD-1　Model-63　※以下是構(gòu)成的一例。

單成分濃度計(jì)的特點(diǎn)：

實(shí)時(shí)濃度測(cè)量可能，濃度管理系統(tǒng)構(gòu)筑也簡(jiǎn)單
模擬DC4～20mA及數(shù)字RS232C標(biāo)準(zhǔn)裝備
標(biāo)準(zhǔn)配備測(cè)量錯(cuò)誤輸出和警報(bào)輸出
標(biāo)準(zhǔn)裝備自己診斷功能·錯(cuò)誤信息表示
小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設(shè)置可能
采用PFA的接液構(gòu)件、小輸出設(shè)計(jì)對(duì)藥液沒有影響

優(yōu)點(diǎn)：

高精度連續(xù)計(jì)測(cè)可能
無(wú)需定期調(diào)整、校對(duì)，無(wú)需維護(hù)
設(shè)置時(shí)的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置
由于實(shí)時(shí)輸出的工程的反饋也容易

日本富士FUJI單成分濃度計(jì)（機(jī)）的用途：

在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等（H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等）
在清洗過(guò)程中的清洗液濃度管理等（HF?NH4OH?KOH?IPA等）
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（HF?H2SO4等）

規(guī)格：

形式FUD-1 Model-13
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度?溫度
顯示：LCD(濃度、溫度、音速/各種參數(shù))
輸出信號(hào)模擬DC4～20mA(可對(duì)濃度值自由設(shè)定)
數(shù)字RS232C(濃度、溫度、音速、錯(cuò)誤代碼)
警報(bào)上限測(cè)量異常.
電源AC100V～240V 50/60Hz (也可以使用DC24V)
構(gòu)造面板掛載型（根據(jù)DIN規(guī)格）?盤內(nèi)設(shè)置型（可選擇安裝在防雨箱中）
環(huán)境溫度0～50℃RH85%以下（不結(jié)露）
0～100℃特別規(guī)格-10～160℃（100℃幅度）
功能：輸出范圍設(shè)定、警報(bào)輸出設(shè)定、濃度顯示移動(dòng)平均、濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能、自我診斷功能、全息安全功能、異常值取消
RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)
選項(xiàng)溫度輸出（DC4～20mA）
頻道大10ch
適配發(fā)信器Model-13：SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5

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